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敏感陶瓷磁控溅射金属化技术及产业化专用设备——金浩团队

团队编号
00987
工作单位
浙江大学
服务产业领域
其他
单位类型
985系统院所、211系统院所
研究方向
薄膜电子学、真空科学与技术、磁控溅射工艺及设备、FBAR/SAW器件、柔性电子学
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团队简介
金浩,博士,男,1979年10月生,浙江大学信息与电子工程学系副教授、博士生导师,英国曼彻斯特大学访问学者,《真空科学与技术学报》副主编,中国电子学会真空电子学分会委员。
本团队拥有骨干成员约4人,其中博导3人,教授2人、副教授1人。近3年,承担国家省部委以上科研项目2项,、发表SCI论文30余篇,获专利授权4项。获省部级以上奖励2项,其中中华人民共和国教育部科学技术进步奖二等奖1项。在国际上率先攻克了PZT/PTC/NTC/ZnO等电子陶瓷磁控溅射金属化的技术难关,并实现了大规模量产,该技术首次在电子元件产业使用绿色制造、节能、且能大幅提高产品品质,目前已在浙江嘉康电子、常熟林芝电子、常州兴勤电子(知名台资企业)、深圳安培龙电子等业内主要电子陶瓷元器件厂商大规模推广应用,颠覆了PZT/PTC/NTC/ZnO等电子陶瓷产业的传统工艺,引领了业内技术革新的浪潮,一套生产线就能为企业年增利润800余万元,创造了显著的经济效益和社会效益,获得了深圳华为等终端客户的高度好评。近5年科研总经费达1500万元
参展成果
敏感陶瓷磁控溅射金属化技术及产业化专用设备

骨干成员

姓名 职务/职称 方向
金浩 副教授、博导
王德苗 教授、博导
王曦 教授、博导
叶文超 高级工程师

在研课题

课题名称 科技计划名称
三维侧向场激励FBAR传感技术研究 浙江省自然科学基金青年基金项目
嵌入式电极侧向场激励薄膜体声波谐振器研究 国家自然科学基金青年基金项目
集成化射频高Q薄膜体声波谐振器 国家自然科学基金重点项目

重大成果

成果名称 所获奖项
磁控溅射无铅金属化技术及其应用研究 浙江省科学技术奖二等奖
电子产品无害金属化技术极其应用 中华人民共和国教育部科学技术进步二等奖

团队带头人

姓名 对接成功后可查看 部门 对接成功后可查看
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联系方式

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