微纳米定位z-轴快速扫描压电驱动器
- 成果编号
- 02741
- 完成单位
- 北京大学
- 完成时间
- 2012年
- 成熟程度
- 研制阶段
- 价格
- 面议
- 服务产业领域
- 其他
- 单位类别
- 985系统院所、211系统院所
| 科技计划 | 成果形式 |
|---|---|
| 新装备 | |
| 合作方式 | 参加活动 |
技术转让、技术开发 |
|
| 专利情况 | |
正在申请 ,其中:发明专利 0 项 |
| 综合介绍 |
|---|
该项目研发了一种微纳米定位z-轴快速扫描压电驱动器，拥有20个与压电马达、压电、磁电传感器和相关的中国、美国发明专利。 |
| 创新要点 |
该项目研发了一种微纳米定位z-轴快速扫描压电驱动器，拥有20个与压电马达、压电、磁电传感器和相关的中国、美国发明专利。 |
| 技术指标 |
Z-轴微纳米定位快速压电驱动器：分辨率：～10nm；响应时间：10 微米/1μs；驱动力：2N。改进型光学三维扫描系统：光栅靶面规格：6.7 * 5.3毫米；光栅条数：150；光栅间距：45微米；定位精度：10nm；对比度：1000：1。 |
| 其他说明 |
| 姓名 | 对接成功后可查看 | 所在部门 | 对接成功后可查看 |
|---|---|---|---|
| 职务 | 对接成功后可查看 | 职称 | 对接成功后可查看 |
| 手机 | 对接成功后可查看 | 对接成功后可查看 | |
| 电话 | 对接成功后可查看 | 传真 | 对接成功后可查看 |
| 邮编 | 对接成功后可查看 | 通讯地址 | 对接成功后可查看 |
| 姓名 | 对接成功后可查看 | 所在部门 | 对接成功后可查看 |
|---|---|---|---|
| 职务 | 对接成功后可查看 | 职称 | 对接成功后可查看 |
| 手机 | 对接成功后可查看 | 对接成功后可查看 | |
| 电话 | 对接成功后可查看 | 传真 | 对接成功后可查看 |
| 邮编 | 对接成功后可查看 | 通讯地址 | 对接成功后可查看 |
| 序号 | 文件名称 |
|---|---|
| 1 | 科技成果登记表简介1.doc |
