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溶胶-凝胶法制备压电薄膜

成果编号
06899
完成单位
南京航空航天大学
完成时间
2012年
成熟程度
研制阶段
价格
面议
服务产业领域
电子信息
单位类别
211系统院所
关注
科技计划 成果形式
新技术、新工艺、新材料
合作方式 参加活动
技术转让、技术开发、技术咨询、技术服务、技术入股
专利情况
正在申请 ,其中:发明专利 2
已授权专利,其中:发明专利 0
专利号: 201010563487.6
专利号: 201110069091.0

成果简介

综合介绍
采用溶胶-凝胶法制备压电薄膜(包括PZT和KNN),可以减少薄膜的宏观缺陷和裂纹,减少薄膜电极间的漏电流值,提高其压电特性,同时可促进PZT压电陶瓷薄膜在纳米制造、MEMS、超精密加工等领域的应用。
创新要点
溶胶凝胶法制备工艺简单,设备成本和原料成本均相对低廉,所得压电薄膜在微观结构和压电性能方面均具有一定的优势。
技术指标
溶胶凝胶形成的pH范围为3.0-5.0,预处理温度为150-350C,水热处理温度为200-300C。
其他说明

                                    

完成人信息

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