透明导电薄膜制备技术
- 成果编号
- 07285
- 完成单位
- 南京航空航天大学
- 完成时间
- 2011年
- 成熟程度
- 小批量生产阶段
- 价格
- 面议
- 单位类别
- 211系统院所
| 科技计划 | 成果形式 |
|---|---|
| 新产品、新材料 | |
| 合作方式 | 参加活动 |
技术开发、技术咨询、技术服务 |
|
| 专利情况 | |
未申请专利 |
| 综合介绍 |
|---|
透明导电薄膜是指那种对可见光的平均透过率高（T ？ 80%）、电阻率低（ρ？10-3 Ωｃｍ）的薄膜，在太阳能电池、平板显示器、薄膜晶体管、气敏元件、抗静电涂层等领域具有广阔的应用前景。本项目采用磁控溅射法和溶胶-凝胶法制备的掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜，对可见光平均透过率大于90％，电阻率低于5？10-4Ωｃｍ，具有广阔的应用前景。已发表科研论文十多篇。 |
| 创新要点 |
太阳能电池电极和触摸显示屏等的制备，替代进口产品，降低相关器件的制备成本。 |
| 技术指标 |
1.利用磁控溅射技术结合原位加热方法，在玻璃衬底上生长高质量AZO薄膜；2.利用磁控溅射技术通过调节生长气压和射频功率，在室温下柔性衬底上制备高质量AZO薄膜；3.采用对设备要求低、原材料价格低廉的溶胶-凝胶法制备技术；4. 特殊气氛下热处理技术；5. 场诱导结晶技术。 |
| 其他说明 |
| 姓名 | 对接成功后可查看 | 所在部门 | 对接成功后可查看 |
|---|---|---|---|
| 职务 | 对接成功后可查看 | 职称 | 对接成功后可查看 |
| 手机 | 对接成功后可查看 | 对接成功后可查看 | |
| 电话 | 对接成功后可查看 | 传真 | 对接成功后可查看 |
| 邮编 | 对接成功后可查看 | 通讯地址 | 对接成功后可查看 |
| 姓名 | 对接成功后可查看 | 所在部门 | 对接成功后可查看 |
|---|---|---|---|
| 职务 | 对接成功后可查看 | 职称 | 对接成功后可查看 |
| 手机 | 对接成功后可查看 | 对接成功后可查看 | |
| 电话 | 对接成功后可查看 | 传真 | 对接成功后可查看 |
| 邮编 | 对接成功后可查看 | 通讯地址 | 对接成功后可查看 |
