载入图片

基于SOI工艺的抗辐照单芯片R/D转换器技术研究及应用

成果编号
29107
完成单位
中国船舶重工集团公司第七一六研究所
完成时间
2020年
成熟程度
小批量生产阶段
价格
面议
服务产业领域
电子信息
单位类别
其他院所
关注
科技计划 成果形式
新产品
合作方式 参加活动
技术开发
2021年高校院所服务苏北五市产学研合作对接活动 首届江苏产学研合作对接大会
专利情况
正在申请 ,其中:发明专利 2
已授权专利,其中:发明专利 0

成果简介

综合介绍
本项目研制的抗辐照单芯片R/D转换器与美国Aeroflex公司的ACT5028B转换器对标。抗总剂量辐射能力和抗单粒子效应能力指标达到对标产品同等水平。
电路方面,采用差分结构的固态控制变压器、误差放大器、相敏解调器、积分器、压控振荡器、可逆计数器等部分构成闭环的II阶伺服控制回路,差分结构电路抗干扰能力强,可抵消部分辐射影响,提高电路可靠性。
版图方面,设计了矩形栅的MOS管结构,矩形栅器件的整个栅氧都位于有源区内且是一个连接完整的部分,这样源漏端电流只在栅氧化层下面流过,从而可以完全消除栅氧和场氧边界这一泄露电流通路,泄漏电流的减少,使矩形栅器件具有很强的抗总剂量辐射效应的能力。
工艺方面,采用具有全介质隔离的SOI工艺,器件制作在隔离区域中。顶层和衬底之间有一层绝缘层隔离开,同时横向隔离绝缘层和绝缘埋层连接在一起,把器件和器件之间完全介质隔离。正是这种全介质隔离减小了寄生电容,使单粒子闩锁效应在电路中发生的可能性彻底消除。
该项目技术复杂、难度大,其研究成果技术成熟、可靠,拥有多项自主知识产权,总体性能达到国际先进水平。与非加固转换器相比,抗总剂量辐射、单粒子效应、转换精度等各项性能指标提升明显,满足系统要求,并可推广应用到航天航空领域,具有重要的经济和社会效益。
创新要点
1)发明了一种单芯片抗辐照全差分结构的轴角转换电路与方法,降低了工艺的匹配性,提高转换精度、电路可靠性和抗干扰能力。与传统的单端结构的R/D转换器相比,转换器的转换精度由8角分提高到4角分,有效地提高转换精度。
2)发明了一种基于SOI工艺的矩形栅MOS管结构,解决了转换器在辐射环境下电路的漏电问题。经矩形栅加固R/D转换器抗总剂量辐射能力由20krad(Si)提高到100krad(Si),该矩形栅结构的MOS管可有效地提高电路的抗总剂量辐射能力。
3)首次在SOI工艺上实现抗辐照单芯片R/D转换器,使闩锁效应在CMOS电路中发生的可能性彻底消除。采用SOI工艺电路的抗单粒子闩锁能力由20MeV·cm2/mg提高到100MeV·cm2/mg。
4)提出一种基于DICE单元双互锁寄存器与三模冗余技术相结合的加固方法,有效的降低单粒子翻转效应。抗单粒子翻转能力由20MeV·cm2/mg提高到37MeV·cm2/mg。
技术指标
总剂量辐射(钴-60γ射线源):≥100krad(Si)
单粒子免疫(脉冲激光2540pJ):≥100MeV·cm2/mg
分辨率:10、12、14、16Bits
静态角精度(16位分辨率):±4角分
最大跟踪速率:10位1024rps;12位256;14位64;16位16
电源电压:+5V
电源电流(电源电压+5V):≤35mA
工作温度:-55~+125℃
其他说明

                                    

完成人信息

姓名 对接成功后可查看 所在部门 对接成功后可查看
职务 对接成功后可查看 职称 对接成功后可查看
手机 对接成功后可查看 E-mail 对接成功后可查看
电话 对接成功后可查看 传真 对接成功后可查看
邮编 对接成功后可查看 通讯地址 对接成功后可查看

联系人信息

姓名 对接成功后可查看 所在部门 对接成功后可查看
职务 对接成功后可查看 职称 对接成功后可查看
手机 对接成功后可查看 E-mail 对接成功后可查看
电话 对接成功后可查看 传真 对接成功后可查看
邮编 对接成功后可查看 通讯地址 对接成功后可查看